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真空斷路器的靜觸頭和動觸頭均放置在真空的玻璃泡中，因而熄弧快，觸頭不致氧化，適合于頻繁操作，也沒有變壓器油的火災危險性。但由于真空度要求為10負四次平方mmHg以上，所以密封比較困難，主要用于操作頻繁的配電系統上。